Y253QQ

Тонкопленочный емкостный датчик давления серии Y25300 — это высокоточный вакуумметр с температурной компенсацией. Использует прецизионные схемы обработки сигнала, передовую технологию нормирования сигнала и алгоритмическую компенсацию для обеспечения стабильных измерений в сложных условиях. Благодаря металлическому корпусу, внутреннему экранированию сигналов и фильтрующим цепям на всех входах и выходах датчики обладают повышенной устойчивостью к электромагнитным помехам в жестких электрических условиях. Кроме того, внутренняя конструкция включает систему защиты от загрязнений и осадительную перегородку, эффективно предотвращающие попадание частиц из газа в датчик.

Замена выводов

Замена выводов бренда     Замена по P/N и выводам

MKS                             CDG020D

INFICON                             CDG025D

Cannon                             M-342G

Setra                             630

Параметры производительности (Точность показаний/разрешение): 0,25% от R.D./0,01% от F.S.

Application

1. Выращивание кристаллов, травление, CVD, PVD, ALD

2. Оборудование для производства систем хранения данных и дисплеев

3. Промышленное вакуумное оборудование