YMx系列皮拉尼壓力傳感器採用惠斯通電橋結構，利用不同壓力下氣體熱導率的變化檢測壓力水平。所採用的基於MEMS的皮拉尼敏感元件相比傳統皮拉尼真空計具有更低的可測壓力範圍。傳感器可選配顯示屏與SP設定點，在工作壓力條件下仍保持高可靠性，可實現從中真空到大氣壓的精確測量。設計堅固緊湊，功耗低、穩定性好、維護方便。

性能參數（讀數精度/分辨率）：

0.05-0.1Pa ±25%R.D.

0.1-10000Pa ±15%R.D.

10000-100000Pa ±30%R.D.

針腳替換：

PSG500 (INFICON)

Application:

1. 中低真空測量與控制

2. 物理氣相沉積（PVD）設備

3. 冷凍乾燥

4. 食品行業真空包裝 5.分析設備/質譜儀應用

6. 真空泵系統壓力監測

Previous : Y253QQ

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